[发明专利]高速高分辨率的选择性转移印刷方法有效
| 申请号： | 201810731559.X | 申请日： | 2018-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN108944110B | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 令狐昌鸿;王成军;宋吉舟;俞凯鑫;李城隆;曾寅家;朱昊东 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | B41M5/382 | 分类号： | B41M5/382 |
| 代理公司： | 33200 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人： | 万尾甜;韩介梅 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高速高分辨率的选择性转移印刷方法，是用热释放胶带与施主基底上的元件接触，依靠热释放胶带与元件强粘附将元件从施主基底上拾取；使用高分辨率局部热源选择性地加热粘附有元件的热释放胶带，使加热部分的胶带失去粘性；通过热释放胶带与受主基底接触，实现选择性地从热释放胶带上印刷元件到受主基底上。本发明的方法适用范围广，对于刚性或柔性的基底，拾取过程和印刷过程可以采用不同形式实现。所述局部热源选择性加热可以采用高空间分辨率激光束结合振镜场镜或者位移平台扫描，平行光源掩模加热或微加热器阵列加热等方式实现。该方法具有可靠性高，速度快，吞吐量大，转印图案可编程，转印分辨率高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 热释放胶带 基底 加热 高分辨率 选择性转移 局部热源 拾取 受主 高空间分辨率 微加热器阵列 选择性加热 印刷 基底接触 平行光源 位移平台 印刷过程 印刷元件 元件接触 转印图案 激光束 可编程 分辨率 胶带 场镜 掩模 粘附 振镜 转印 吞吐量 扫描 | ||
【主权项】：
1.一种高速高分辨率的选择性转移印刷方法，其特征在于，采用热释放胶带和高分辨率局部热源实现；其具体方法为：用热释放胶带与施主基底上的元件接触，依靠热释放胶带与元件强粘附将元件从施主基底上拾取；使用高分辨率局部热源选择性地加热粘附有元件的热释放胶带，经加热部分的胶带失去粘性；通过热释放胶带与受主基底接触，实现选择性地从热释放胶带上印刷元件到受主基底上。/n
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