[发明专利]真空舱隧道炉、管式线性供气生产大面积石墨烯单晶膜在审
| 申请号： | 201810733536.2 | 申请日： | 2018-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN110656373A | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | 汪又翔 | 申请（专利权）人： | 汪又翔 |
| 主分类号： | C30B29/02 | 分类号： | C30B29/02;C30B25/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 311600 浙江省建*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明是在真空舱中设置隧道炉、铜镍箔移动装置；在隧道炉中设置点式和管式线性供气装置，铜镍箔移动装置移动铜镍箔与沉积气体反应裂解生产单晶石墨烯薄膜，属于化学气相沉积法。本发明解决了现在气相沉积法沉积气体自由散落生产多晶畴石墨烯膜的缺陷问题，同时克服了单晶石墨烯无法量产的问题。点式供气装置供气有效控制单晶石墨烯初步形成，管式线性供气装置逐步扩大单晶石墨烯薄膜横向面积，稳定后的管式线性供气装置供气保证了大面积单晶石墨烯连续生产的需要，这样使大面积的单晶石墨烯薄膜达到大批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶石墨 供气装置 管式 铜镍 沉积气体 移动装置 隧道炉 薄膜 供气 化学气相沉积 大面积单晶 气相沉积法 薄膜横向 缺陷问题 石墨烯膜 有效控制 设置点 石墨烯 真空舱 点式 多晶 量产 裂解 生产 散落 移动 自由 保证 | ||
【主权项】：
1.点式和管式线性供气装置的集中供气，铜镍箔移动装置移动铜镍箔，氩气保护等形成的石墨烯单晶膜大面积连续量产的生产工艺。/n
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