[发明专利]一种研磨机在审
申请号: | 201810734182.3 | 申请日: | 2018-07-06 |
公开(公告)号: | CN108890535A | 公开(公告)日: | 2018-11-27 |
发明(设计)人: | 孟玉清;张磊;底亚楠 | 申请(专利权)人: | 河北中瓷电子科技有限公司 |
主分类号: | B24B55/06 | 分类号: | B24B55/06;B24B37/00;B24B37/34;B24B41/02;B24B37/27 |
代理公司: | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人: | 王丽巧 |
地址: | 050200 河北省石*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本发明涉及半导体微电子器件制备技术领域,提供了一种研磨机,包括:机体、研磨装置、用于启动研磨机的启动装置、固定装置、用于使固定装置移动的移动装置、用于吹除研磨产生的粉尘的吹灰装置;研磨装置、启动装置和移动装置设于机体的顶部,固定装置设于移动装置上,固定装置和研磨装置相对设置,吹灰装置设于固定装置的正上方。本发明能够解决由于人工研磨而产生的工作效率低且无法保证研磨质量的问题,能够提高工作效率,减少人力浪费,保证研磨质量,减少研磨产生的粉尘对工作人员的身体健康造成的危害。 | ||
搜索关键词: | 固定装置 研磨 研磨装置 移动装置 研磨机 吹灰装置 工作效率 启动装置 粉尘 半导体微电子 器件制备 人工研磨 相对设置 吹除 保证 移动 | ||
【主权项】:
1.一种研磨机,其特征在于,包括:机体、研磨装置、用于启动所述研磨机的启动装置、固定装置、用于使所述固定装置移动的移动装置和用于吹除研磨产生的粉尘的吹灰装置;所述研磨装置、所述启动装置和所述移动装置设于所述机体的顶部,所述固定装置设于所述移动装置上,所述固定装置和所述研磨装置相对设置,所述吹灰装置设于所述固定装置的正上方。
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