[发明专利]一种实现氧化锌线状晶体管电导可调的方法有效
| 申请号： | 201810734873.3 | 申请日： | 2018-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN108920845B | 公开（公告）日： | 2023-02-21 |
| 发明（设计）人： | 赖云锋;陈凡;陈帅;程树英;林培杰;俞金玲 | 申请（专利权）人： | 福州大学 |
| 主分类号： | G06F30/367 | 分类号： | G06F30/367;H01L29/775 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 蔡学俊 |
| 地址： | 350108 福建省福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种实现氧化锌线状晶体管电导可调的方法，其特征在于：所述氧化锌线状晶体管包括重掺硅/二氧化硅衬底、氧化锌线状介质以及一对钛电极；所述氧化锌线状晶体管电导可调的方法包括以下步骤：设氧化锌线状晶体管的阈值电压为V |
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| 搜索关键词： | 一种 实现 氧化锌 线状 晶体管 电导 可调 方法 | ||
【主权项】：
1.一种实现氧化锌线状晶体管电导可调的方法，其特征在于：所述氧化锌线状晶体管包括重掺硅/二氧化硅衬底、设置于重掺硅/二氧化硅衬底上方的氧化锌线状介质以及设置于氧化锌线状介质两端与重掺硅/二氧化硅衬底良好电接触的一对钛电极；所述氧化锌线状晶体管电导可调的方法包括以下步骤：步骤S1:设氧化锌线状晶体管的阈值电压为VG1，某一栅极电压下的电导状态为C1；步骤S2:对氧化锌线状晶体管的栅极施加‑V1~V2范围的扫描电压，使氧化锌线状晶体管的阈值电压变为VG2，可以获得该栅压下的第2电导状态C2；步骤S3:对氧化锌线状晶体管的栅极施加‑V1~Vi范围的扫描电压，使氧化锌线状晶体管的阈值电压变为VGi，可以获得该栅压下的第i电导状态Ci；其中i为整数，2≤i≤n‑1，n为不小于2的整数。
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