[发明专利]一种提高零部件表面减摩耐磨性能的薄膜制备方法在审

专利信息
申请号: 201810737731.2 申请日: 2018-07-06
公开(公告)号: CN108796437A 公开(公告)日: 2018-11-13
发明(设计)人: 耿哲;黄华栋 申请(专利权)人: 苏州工业职业技术学院
主分类号: C23C14/04 分类号: C23C14/04;C23C14/58;C23C16/04;C23C16/56
代理公司: 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 代理人: 胡晶
地址: 215104 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种提高零部件表面减摩耐磨性能的薄膜制备方法,包括以下步骤:(1)加工与基体材料外表面相匹配的具有不连续镂空图形的薄不锈钢片;(2)将薄不锈钢片和基体材料依次在丙酮、无水乙醇中超声清洗20分钟,并在干燥箱中烘干;(3)将薄不锈钢片固定贴覆于基体材料外表面;(4)将薄不锈钢片和基材的组合件置于气相沉积系统中,沉积薄膜;(5)待步骤(4)沉积的薄膜冷却至室温,将其取出,移除薄不锈钢片,基材表面留有与薄不锈钢片镂空图形对应的不连续薄膜;(6)采用激光在步骤(5)的不连续薄膜表面再加工出二次图形,完成薄膜的制备。
搜索关键词: 薄不锈钢片 基体材料 不连续 零部件表面 薄膜制备 耐磨性能 镂空图形 减摩 薄膜 气相沉积系统 薄膜表面 薄膜冷却 超声清洗 沉积薄膜 基材表面 外表面相 无水乙醇 干燥箱 固定贴 再加工 组合件 丙酮 烘干 基材 移除 沉积 制备 匹配 激光 取出 加工
【主权项】:
1.一种提高零部件表面减摩耐磨性能的薄膜制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)加工与基体材料表面相匹配的具有不连续镂空图形的薄不锈钢片;(2)清洗薄不锈钢片和基体材料,并烘干;(3)将薄不锈钢片固定贴覆于基材外表面;(4)将薄不锈钢片和基材的组合件置于气相沉积系统中,沉积薄膜;(5)待步骤(4)沉积的薄膜冷却至室温,将其取出,移除薄不锈钢片,基材表面留有与薄不锈钢片镂空图形对应的不连续薄膜;(6)采用激光在步骤(5)的不连续薄膜表面再加工出二次图形,完成薄膜的制备。
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