[发明专利]一种掩模板及键合对准方法有效
| 申请号： | 201810739170.X | 申请日： | 2018-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN110687759B | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 任书铭 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F1/42;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种掩模板及键合对准方法，图形区包括至少四个掩模图形，每个掩模图形包括一个对位标记图形，任一对位标记图形为第一对位标记图形或第二对位标记图形，当掩模板沿水平镜像或垂直镜像翻转180度后，翻转后的第一对位标记图形与翻转前相对应的第二对位标记图形相对准，翻转后的第二对位标记图形与翻转前相对应的第一对位标记图形相对准；当掩模板沿掩模图形的一排布方向平移设定长度后，平移后的第一对位标记图形与平移前相对应的第二对位标记图形相对准，平移后的第二对位标记图形与平移前相对应的第一对位标记图形相对准。本发明实施例能够兼容面对面型和背对面型键合的掩模板图形要求，无需采用两种掩模板，节省了成本和支出。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 模板 对准 方法 | ||
【主权项】：
1.一种掩模板，包括图形区，其特征在于，所述图形区包括至少四个掩模图形，每个所述掩模图形包括一个对位标记图形，任一所述对位标记图形为第一对位标记图形或第二对位标记图形，所述第一对位标记图形的数量与所述第二对位标记图形的数量相同，所述第一对位标记图形和所述第二对位标记图形构成至少一类对位标记图形对；/n当所述掩模板沿水平镜像轴线或垂直镜像轴线翻转180度后，翻转后的各掩模图形与翻转前的各掩模图形一一重叠，翻转后的各第一对位标记图形与翻转前相对应的第二对位标记图形相对准，翻转后的各第二对位标记图形与翻转前相对应的第一对位标记图形相对准；/n当所述掩模板沿所述掩模图形的一排布方向平移一个设定长度后，平移后的部分掩模图形与平移前的部分掩模图形一一重叠，且相重叠的掩模图形中，平移后的各第一对位标记图形与平移前相对应的第二对位标记图形相对准，平移后的各第二对位标记图形与平移前相对应的第一对位标记图形相对准，其中，所述设定长度为一个所述掩模图形在所述排布方向上的长度与所述掩模图形之间的间距之和。/n
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