[发明专利]光栅集成精度的测量装置及方法、平面光栅尺测量系统有效
| 申请号： | 201810739177.1 | 申请日： | 2018-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN110686620B | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 吴萍 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了光栅集成精度的测量装置及方法、平面光栅尺测量系统，测量装置包括光束发生及接收单元、光束调整单元和集成光栅；光束调整单元包括平行分光镜和反射分光棱镜；反射分光棱镜包括透反平面和反射平面；集成光栅包括参考光栅和待测光栅；光束发生及接收单元发出光束并确定参考光栅和待测光栅的俯仰角、偏转角和旋转角；平行分光镜将光束分成两束平行光束；透反平面和反射平面将两束平行光束反射至参考光栅和待测光栅并将零级反射光束和一级衍射光束反射至平行分光镜。本发明可以提供相距较远的两束平行光，实现大间距光栅集成精度测量；还可在一套测量装置中，同时检测参考光栅和待测光栅的俯仰角、偏转角和旋转角。 | ||
| 搜索关键词： | 光栅 集成 精度 测量 装置 方法 平面 光栅尺 系统 | ||
【主权项】：
1.一种光栅集成精度的测量装置，其特征在于，包括：光束发生及接收单元、光束调整单元和集成光栅；/n所述光束调整单元包括平行分光镜和反射分光棱镜，所述反射分光棱镜位于所述平行分光镜远离所述光束发生及接收单元的一侧；所述反射分光棱镜包括透反平面和反射平面；/n所述集成光栅包括参考光栅和待测光栅；/n所述光束发生及接收单元用于发出光束，并接收所述参考光栅的第一零级反射光束和第一一级衍射光束，所述待测光栅的第二零级反射光束和第二一级衍射光束；根据所述第一零级反射光束和所述第二零级反射光束确定所述参考光栅和所述待测光栅的俯仰角和偏转角，根据所述第一一级衍射光束和所述第二一级衍射光束确定所述参考光栅和所述待测光栅的旋转角；/n所述平行分光镜将所述光束发生及接收单元发出的光束分成两束平行光束；并将所述参考光栅的第一零级反射光束和第一一级衍射光束，所述待测光栅的第二零级反射光束和第二一级衍射光束传输至所述光束发生及接收单元；/n所述透反平面将两束所述平行光束反射至所述参考光栅和所述待测光栅，并将所述参考光栅产生的第一零级反射光束以及所述待测光栅产生的第二零级反射光束反射至所述平行分光镜；所述反射平面将两束所述平行光束反射至所述参考光栅和所述待测光栅，并将所述参考光栅产生的第一一级衍射光束以及所述待测光栅产生的第二一级衍射光束反射至所述平行分光镜。/n
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