[发明专利]一种适用于超高真空环境的宽波段光斑聚焦装置

摘要

本发明公开了一种适用于超高真空环境的宽波段光斑聚焦装置，属于高真空聚焦系统设计领域。包括真空腔体、可调节焦距的锥齿轮组合、实现光斑缩小的聚焦模块；通过锥齿轮组合的旋钮带动支撑和控制聚焦模块支架的前后移动，通过螺纹之间的传动，使得聚焦模块能够实现焦距的可调控性，从而可以在不增加光程和光路复杂程度基础上，有效缩小1000nm‑120nm波长范围光斑尺寸，并且可通过聚焦模块上的卡扣部件的简易操作将聚焦模块在真空环境中移离原始光路，不限制原有光源波长范围。

主权项

1.一种适用于超高真空环境的宽波段光斑聚焦装置，其特征在于：该装置由真空腔体、可调节焦距的锥齿轮组合以及聚焦模块组成，其中，可调节焦距的锥齿轮组合包括卡环(21)，圆杆(22)，三根固定杆(23)，移动块(24)，螺纹杆(25)，第一锥形齿轮(26)，第二锥形齿轮(27)，旋钮(28)和承载块(29)，运用三根固定杆(23)和移动块(24)组合将聚焦模块和开关模块固定在正中间，移动块外围有两个圆杆(22)和一个螺纹杆(25)，螺纹杆(25)与移动块之间通过焊接连接为一体，并且也与第一锥形齿轮(26)通过螺纹连接；通过旋转旋钮(28)，转动第二锥形齿轮(27)和第一锥形齿轮(26)，从而转动螺纹杆，使移动块(24)实现前后移动，实现聚焦模块前后平移，调节不同波长光焦点位置；聚焦模块包括卡扣(11)，第一螺孔(12)，第一圆形凹槽(13)，圆孔(14)，圆锥空腔(15)，第二螺孔(16)，承载块(17)，第二圆形凹槽(18)和第三螺孔(19)，承载块(17)中间的第一圆形凹槽(13)和第二圆形凹槽(18)都是用于放置聚焦光斑的透镜，使用螺钉等将第一螺孔(12)、第二螺孔(16)和第三螺孔(19)固定，可以通过圆锥空腔(15)和承载块(17)将透镜固定，圆锥空腔顶部开一个圆孔(14)，卡扣(11)用于聚焦模块的进入光路后的固定；聚焦模块的承载块(17)通过铰链连接与承载块(29)连为一体，聚焦模块就能实现相对转动，使用腔体内的机械手使得卡扣(11)与卡环(21)固定。