[发明专利]力觉传感器

摘要

本发明提供力觉传感器，在静电电容型力觉传感器中价格低且灵敏度高、并且不易受到使用环境的温度变化、共态噪声的影响。力觉传感器(100c)包括：变形体(10)，具有受力部(14)和固定部(15)；位移体(20)，连接到变形体，通过在变形体产生的弹性变形而产生位移；以及检测电路(40)，基于在位移体产生的位移来检测作用的力。变形体包括具有长边方向(l)并配置在受力部与固定部之间的偏斜部(13)，位移体具有连接到偏斜部并因偏斜部的偏斜而位移的位移部(D1、D2)。检测电路具有配置于位移部的电容元件(C1、C2)，并基于电容元件的静电电容值的变动量来检测作用的力。

主权项

1.一种力觉传感器，其特征在于，包括：变形体，具有受力部和固定部，所述变形体通过作用于所述受力部的力而产生弹性变形；位移体，连接到所述变形体，并通过在该变形体产生的弹性变形而产生位移；以及检测电路，基于在所述位移体产生的位移来检测所作用的力，所述变形体具有：偏斜部，具有长边方向，并配置在所述受力部与所述固定部之间；第一变形部，连接所述受力部和所述偏斜部；以及第二变形部，连接所述固定部和所述偏斜部，所述第一变形部在所述偏斜部的一侧沿与所述长边方向交叉的方向延伸，所述第二变形部在所述偏斜部的另一侧沿与所述长边方向交叉的方向延伸，所述第一变形部与所述偏斜部的连接部位和所述第二变形部与所述偏斜部的连接部位在该偏斜部的所述长边方向上位置不同，所述位移体连接到所述偏斜部，但与所述固定部分开，所述位移体具有通过该偏斜部的偏斜而位移的位移部，所述检测电路具有配置于所述位移部的电容元件，所述检测电路基于该电容元件的静电电容值的变动量来检测所作用的力。