[发明专利]一种超光谱探测微系统有效
| 申请号： | 201810745280.7 | 申请日： | 2018-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN109100310B | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 王伟平;丁子瑜;金里;胡小燕;张东亮;林霄;刘大川;汪志强 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司信息科学研究院;中国电子科技集团公司第三十八研究所 |
| 主分类号： | G01N21/31 | 分类号： | G01N21/31 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人： | 李明 |
| 地址： | 100000 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种超光谱探测微系统，包括：光收集耦合模块，波导分光芯片和光谱数据处理模块，其中波导分光芯片包括级联MZI波导滤波器、波导光开关阵列、热光调相MZI阵列和片上集成线阵探测器。本发明集成了集成硅基级联MZI阵列波导技术，热光调相技术、硅基光谱分光技术、片上探测器集成技术、信号处理及光谱复原算法以及Si‑CMOS工艺和微系统高密度集成制造工艺，实现具有宽光谱探测范围、高光谱探测精度、超小体积重量功耗、超低成本、快速机动等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光谱 探测 系统 | ||
【主权项】：
1.一种超光谱探测微系统，包括：光收集耦合模块，用于收集目标的辐射光信息，并耦合至波导分光芯片；波导分光芯片，用于将收集到的辐射光滤波后，利用MZI阵列进行光谱分光并经光电转换后输出电信号；光谱数据处理模块，用于将输出电信号复原为目标的光谱信息。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国电子科技集团公司信息科学研究院;中国电子科技集团公司第三十八研究所，未经中国电子科技集团公司信息科学研究院;中国电子科技集团公司第三十八研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810745280.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
