[发明专利]一种靶材定位装置及三坐标定位设备在审
| 申请号： | 201810746530.9 | 申请日： | 2018-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN108895963A | 公开（公告）日： | 2018-11-27 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;占卫君 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 崔振 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种靶材定位装置及三坐标定位设备。一种靶材定位装置包括底座、第一定位组和激光器。底座被配置为固定在工作台上；第一定位组均设置在底座远离工作台的一侧；第一定位组包括两个第一立柱，两个第一立柱具备第一预设距离，两个第一立柱均被配置为抵接在靶材的侧边；靶材的侧面上设置有一个定位槽；激光器被配置为发出激光以照射到第一平面，第一平面与工作台平行且穿过定位槽。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 定位装置 定位组 立柱 底座 定位设备 激光器 定位槽 三坐标 工作台 配置 半导体技术领域 预设距离 侧边 抵接 平行 照射 激光 穿过 侧面 | ||
【主权项】：
1.一种靶材定位装置，其特征在于，包括:底座、第一定位组和激光器；所述底座被配置为固定在工作台上；所述第一定位组均设置在所述底座远离所述工作台的一侧；所述第一定位组包括两个第一立柱，两个所述第一立柱具备第一预设距离，两个所述第一立柱均被配置为抵接在靶材的侧边；所述靶材的侧面上设置有一个定位槽；所述激光器被配置为发出激光以照射到第一平面，所述第一平面与所述工作台平行且穿过所述定位槽。
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