[发明专利]等离子体源、激发系统和操作激发测量系统的方法有效
| 申请号： | 201810746909.X | 申请日： | 2018-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN109243956B | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 马克·A·梅洛尼 | 申请（专利权）人： | 真实仪器公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 张晓媛 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开提供等离子体源、用于激发等离子体的激发系统以及操作激发测量系统的方法。在一个实施例中，所述等离子体源包含：(1)同轴射频RF谐振器，其包含第一末端、第二末端、内部电极和外部电极，(2)射频接口，其电耦合到所述内部电极和所述外部电极且经配置以将RF信号提供到所述同轴RF谐振器，(3)凸缘，其定位于所述谐振器的所述第一末端处且限定等离子体腔体，以及(4)窗口，其定位于所述谐振器的所述第一末端与所述凸缘之间且形成所述等离子体腔体的一侧，由此所述同轴RF谐振器与所述等离子体隔离。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 激发 系统 操作 测量 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于从一种或多种气体激发等离子体且对其进行光学监视的等离子体源，所述等离子体源包括：同轴射频RF谐振器，其包含第一末端、第二末端、内部电极和外部电极；射频接口，其电耦合到所述内部电极和所述外部电极且经配置以将RF信号提供到所述同轴RF谐振器；凸缘，其定位于所述谐振器的所述第一末端处且限定等离子体腔体；以及窗口，其定位于所述谐振器的所述第一末端与所述凸缘之间且形成所述等离子体腔体的一侧，由此所述同轴RF谐振器与所述等离子体隔离。
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