[发明专利]外延炉冷却系统及冷却方法

摘要

本发明提供了一种外延炉冷却系统及冷却方法，所述外延炉冷却系统包括：冷却腔体、温度检测器以及冷却腔体控制器，其中所述冷却腔体用于冷却放置于其内的晶圆，温度检测器用于检测放置于所述冷却腔体内晶圆的温度，并将所述晶圆的实际温度传输至所述冷却腔体控制器，所述冷却腔体控制器具有一预设温度，并实时接收所述实际温度，并将所述实际温度与设定温度进行比较，如果所述实际温度大于所述设定温度，则控制所述冷却腔体继续冷却，如果所述实际温度等于或小于所述设定温度，则控制所述冷却腔体结束冷却，由此可以有效控制所述晶圆的冷却温度而及时结束晶圆的冷却，并通过温度控制提高冷却腔体的产出效率。

主权项

1.一种外延炉冷却系统，其特征在于，包括：冷却腔体、温度检测器以及冷却腔体控制器，其中，所述冷却腔体用于冷却放置于其内的晶圆；所述温度检测器用于检测放置于所述冷却腔体内晶圆的温度，并将所述晶圆的实际温度传输至所述冷却腔体控制器；所述冷却腔体控制器具有一预设温度，并实时接收所述实际温度，并将所述实际温度与所述预设温度进行比较，如果所述实际温度大于所述预设温度，则控制所述冷却腔体继续冷却；如果所述实际温度等于或小于所述预设温度，则控制所述冷却腔体结束冷却。