[发明专利]多波长激光干涉仪

摘要

一种多波长激光干涉仪，该装置包括：激光器、孔径光阑、扩束次镜、针孔光阑、分光棱镜、准直主镜、透射标准镜、压电陶瓷换能器、待测平面元件、反射标准镜、成像透镜、高光谱相机和计算机。本发明装置中的准直主镜为三透镜，成像透镜与扩束次镜参数完全相同且为单透镜；为了减小本发明装置中透镜的加工难度和降低整套系统光路装调的难度，本发明装置中的扩束次镜和准直主镜各有1个面可为平面。本发明能在600nm～1600nm波长范围内，能对待测的平面光学元件的透射波前或反射波前进行测量。

主权项

1.一种多波长激光干涉仪，其特征在于该装置包括：激光器(1)、孔径光阑(2)、扩束次镜(3)、针孔光阑(4)、分光棱镜(5)、准直主镜(6)、透射标准镜(7)、压电陶瓷换能器(8)、待测平面元件(9)、反射标准镜(10)、成像透镜(11)、高光谱相机(12)和计算机(13)；沿所述的激光器(1)的激光输出方向依次是所述的孔径光阑(2)、扩束次镜(3)、针孔光阑(4)和分光棱镜(5)，所述的分光棱镜(5)将入射激光光束分为了透射光和反射光，在所述的透射光方向上，依次是准直主镜(6)、透射标准镜(7)、压电陶瓷换能器(8)、待测平面元件(9)和反射标准镜(10)，在所述的反射光方向上，依次是所述的成像透镜(11)、高光谱相机(12)和计算机(13)；所述的压电陶瓷换能器(8)可通过电压调节的方式沿光轴方向前后推动所述的透射标准镜(7)；所述的高光谱相机(12)的输出端与所述的计算机(13)的输入端相连；所述的激光器(1)为多波长合束激光器，通过将多种波长的激光进行合束，可输出波长范围600nm～1600nm的激光，每种输出波长下的相干长度大于等于1m；所述的扩束次镜(3)与所述的成像透镜(11)参数相同且为单透镜；所述的准直主镜(6)为三透镜；所述的高光谱相机(12)能探测到所述的激光器(1)所有输出波长的光强。