[发明专利]微型热导检测器有效
| 申请号： | 201810750496.2 | 申请日： | 2018-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN108918743B | 公开（公告）日： | 2020-02-04 |
| 发明（设计）人： | 孙建海;薛宁;刘春秀;马天军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电子学研究所 |
| 主分类号： | G01N30/66 | 分类号： | G01N30/66 |
| 代理公司： | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 张成新 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种微型热导检测器，包括基底、设置在基底上的热导池以及设置在热导池中的热敏电阻。热导池包括第一气流通道和第二气流通道，热敏电阻包括设置在第一气流通道中的相同的第一热敏电阻和第二热敏电阻以及设置在第二气流通道中的相同的第三热敏电阻和第四热敏电阻，第一热敏电阻和第二热敏电阻并行设置，第三热敏电阻和第四热敏电阻并行设置。本发明提供的微型热导检测器为一池双敏结构，每一个气流通道内的两个热敏电阻都是并行设置于同一热导池，消除了工艺带来热敏电阻阻值的不一致性，提高了微型热导检测器的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 热敏电阻 气流通道 微型热导检测器 热导池 并行设置 基底 不一致性 灵敏度 | ||
【主权项】：
1.一种微型热导检测器，包括：/n基底；/n热导池，所述热导池设置在所述基底上；以及/n热敏电阻，所述热敏电阻设置在所述热导池中，/n其特征在于，所述热导池包括第一气流通道和第二气流通道，所述热敏电阻包括设置在所述第一气流通道中的相同的第一热敏电阻和第二热敏电阻以及设置在所述第二气流通道中的相同的第三热敏电阻和第四热敏电阻，所述第一热敏电阻和所述第二热敏电阻并行设置，所述第三热敏电阻和所述第四热敏电阻并行设置；/n其中，每一个所述热敏电阻均包括对应地设置于所述基底上的两个电极；气流通道的结构尺寸和热导池的结构尺寸一致。/n
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