[发明专利]铁电存储器件有效
申请号: | 201810752564.9 | 申请日: | 2018-07-10 |
公开(公告)号: | CN109256387B | 公开(公告)日: | 2023-04-28 |
发明(设计)人: | 刘香根 | 申请(专利权)人: | 爱思开海力士有限公司 |
主分类号: | H10B53/30 | 分类号: | H10B53/30;B82Y10/00 |
代理公司: | 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 | 代理人: | 王建国;李琳 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 根据实施例的一种铁电存储器件包括衬底、顺序地堆叠在所述衬底上的铁电层和栅电极层以及至少设置在所述衬底和所述铁电层之间或在所述铁电层和所述栅电极层之间的氧空位阻挡层。所述氧空位阻挡层包括具有满足化学计量比的化学式单元组分的金属氧化物。 | ||
搜索关键词: | 存储 器件 | ||
【主权项】:
1.一种铁电存储器件,其包括:衬底;顺序地堆叠在所述衬底上的铁电层和栅电极层;以及至少设置在所述衬底和所述铁电层之间或者所述铁电层和所述栅电极层之间的氧空位阻挡层,其中,所述氧空位阻挡层包括具有满足化学计量比的化学式单元组分的金属氧化物。
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