[发明专利]自反馈密封腔气体取样装置及其应用在审
| 申请号： | 201810753167.3 | 申请日： | 2018-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN108844787A | 公开（公告）日： | 2018-11-20 |
| 发明（设计）人： | 田先清;王新锋 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院化工材料研究所 |
| 主分类号： | G01N1/22 | 分类号： | G01N1/22 |
| 代理公司： | 四川省成都市天策商标专利事务所 51213 | 代理人： | 刘兴亮;吴瑞芳 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种自反馈密封腔气体取样装置，包括工作台，样品载物台通过上盖组件固定在工作台上，密封穿刺组件通过密封法兰盘与工作台连接，真空压力传感器通过密封法兰盘与工作台连接，上盖组件通过设置在上盖组件卡槽内的密封圈与工作台固定，并通过限位块固定在工作台上，在上盖组件的内腔中设置有样品载物台，样品载物台和上盖组件之间有相互连通的排气管路。本发明还公开了所述自反馈密封腔气体取样装置的应用。本发明密封腔气体取样装置集样品整体检漏、样品内密封腔体积测定以及样品内密封腔气氛取样与分析等功能于一体；易于实现一键式操控；样品载物台适用于不同规格的样品，无螺钉等紧固件，更换样品方便。 | ||
| 搜索关键词： | 上盖组件 气体取样装置 样品载物台 密封腔 工作台 自反馈 密封法兰盘 内密封腔 密封圈 真空压力传感器 一键式操控 穿刺组件 排气管路 体积测定 螺钉 紧固件 内腔中 限位块 检漏 卡槽 取样 连通 密封 应用 分析 | ||
【主权项】：
1.一种自反馈密封腔气体取样装置，其特征在于包括工作台，以及与工作台相连的上盖组件、样品载物台、密封穿刺组件、真空压力传感器，样品载物台通过上盖组件固定在工作台上，所述密封穿刺组件通过密封法兰盘与工作台连接，所述真空压力传感器通过密封法兰盘与工作台连接，上盖组件通过设置在上盖组件卡槽内的密封圈与工作台固定，并通过限位块固定在工作台上，在上盖组件的内腔中设置有样品载物台，样品载物台和上盖组件之间有相互连通的排气管路，在工作台两侧分别设置有两个真空截止阀，吹扫气接口连接第一真空截止阀，在取样接口也连接有第二真空截止阀。
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