[发明专利]一种平面复合加热器的制备方法有效
| 申请号： | 201810753176.2 | 申请日： | 2018-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN108863443B | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 刘汝强;王殿春;孙蕾;赵旭荣;张佳伟 | 申请（专利权）人： | 山东国晶新材料有限公司 |
| 主分类号： | C04B41/89 | 分类号： | C04B41/89;C04B35/52;H05B3/14 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 张宏松 |
| 地址： | 251200 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种平面复合加热器的制备方法，制备方法包括：(1)平面加热器的基体为热解氮化硼基体，将热解氮化硼基体表面打磨至基体表面粗糙度为Ra：0.5～4.0微米；然后涂覆一层厚度为10‑300μm的热解石墨涂层，涂覆过程中控制温度为1200‑1700℃，压力为100‑1000Pa，表面加工花纹，将加工完花纹后的基本再次装入CVD反应炉内，涂覆一层厚度为10‑300μm热解氮化硼涂层，冷却，即得平面复合加热器。本发明制备的平面复合加热器可以在1500℃以内连续升温降温400‑600次不起层、不分层，有效地提高了加热器的使用寿命，并且加热效率保持在90％以上，加热均匀性可以控制在10℃以内。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 复合 加热器 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种平面复合加热器的制备方法，包括步骤：(1)平面加热器的基体为热解氮化硼基体，将热解氮化硼基体表面采用100‑500目砂纸打磨，打磨至基体表面粗糙度为Ra：0.5～4.0微米；(2)将步骤(1)处理后的热解氮化硼基体装入CVD反应炉中涂覆一层厚度为10‑300μm的热解石墨涂层，涂覆过程中控制温度为1200‑1700℃，压力为100‑1000Pa，气体比例为：惰性气体：甲烷＝1‑30:1；(3)将步骤(2)涂覆热解石墨涂层后的基体表面加工花纹，(4)将加工完花纹后的基本再次装入CVD反应炉内，涂覆一层厚度为10‑300μm热解氮化硼涂层，冷却，即得平面复合加热器。
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