[发明专利]一种镶嵌式石墨烯PN结的制造方法

摘要

本发明提供了一种镶嵌式石墨烯PN结的制造方法，在铜衬底上，通过掩膜和离子注入结构形成六边形成不同掺杂类型的镶嵌式金属合金掺杂结构，通过化学气相沉积形成镶嵌式石墨烯PN结，使石墨烯PN结具有较大的结区面积，石墨烯PN掺杂区域的掺杂深度高；制作工艺简单。

主权项

1.一种镶嵌式石墨烯PN结的制造方法，其特征在于，所述方法包括：步骤1）提供铜衬底；步骤2）在所述铜衬底上形成六边形镶嵌的第一掩膜图形；步骤3）在具有掩膜图形的铜衬底上沉积一层金属镍，对所述金属镍进行第一类型的离子注入；步骤4）进行第一退火，形成具有第一类型离子的铜镍合金，对注入后的铜镍合金层进行减薄，直到漏出掩膜图形，去除掩膜图形，形成六边形的岛；步骤5）在具有六边形的岛上再沉积一层镍；步骤6）在形成第二掩膜图形，所述第二掩膜图形覆盖六边形的岛，暴露出六边形的岛之外的金属镍层；步骤7）对岛之外的金属镍层进行第二类型离子的注入；步骤8）去除所述第二掩膜图形，进行第二退火，在六边形的岛周围形成具有第二类型离子的铜镍合金的镶嵌结构；步骤9）对铜镍合金层进行抛光形成平整的表面，形成石墨烯沉积衬底；步骤10）在石墨烯沉积衬底通过化学气相沉积形成一层镶嵌式石墨烯PN结；步骤11）在镶嵌式石墨烯PN结上形成电极阵列。