[发明专利]一种高效的单晶硅片水洗脱胶装置

摘要

本发明公开了一种高效的单晶硅片水洗脱胶装置，包括支架、横梁、滑块、挂杆、清洗网框、清洗池、漂洗池、底座和超声波振子，所述清洗池和漂洗池均设置在底座上，且清洗池和漂洗池互不连通，清洗池和漂洗池的底部均连接有排水管，横梁通过支架固定在清洗池的正上方，横梁上安装有水平的动力缸一，动力缸一的输出端上安装有滑块，滑块上安装有动力缸二，动力缸二的输出端通过挂钩连接有挂杆，两根所述挂杆的端部与清洗网框两侧的挂杆连接座连接，本发明的有益效果是：利用可移动的清洗网框能高效的实现单晶硅片的清洗和漂洗作业，并且清洗网框可发生角度偏转，便于将清洗网框内的单晶硅片倒出。

主权项

1.一种高效的单晶硅片水洗脱胶装置，包括支架（1）、横梁（2）、滑块（4）、挂杆（11）、清洗网框（12）、清洗池（13）、漂洗池（14）、底座（15）和超声波振子（17），其特征在于，所述清洗池（13）和漂洗池（14）均设置在底座（15）上，且清洗池（13）和漂洗池（14）互不连通，清洗池（13）和漂洗池（14）的底部均连接有排水管（16），横梁（2）通过支架（1）固定在清洗池（13）的正上方，横梁（2）上安装有水平的动力缸一（3），动力缸一（3）的输出端上安装有滑块（4），滑块（4）上安装有动力缸二（5），动力缸二（5）的输出端通过挂钩（19）连接有挂杆（11），两根所述挂杆（11）的端部与清洗网框（12）两侧的挂杆连接座（10）连接，即清洗网框（12）是吊设在动力缸二（5）上的，所述清洗池（13）的内壁上安装有多个超声波振子（17）。