[发明专利]射频滤波器的制作方法和射频滤波器在审
| 申请号： | 201810762036.1 | 申请日： | 2018-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN108880500A | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 刘建生;陈海龙;张树民;王国浩;汪泉 | 申请（专利权）人： | 杭州左蓝微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/10 | 分类号： | H03H3/10 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理事务所(普通合伙) 11226 | 代理人： | 李明 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭州经济技*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种射频滤波器的制作方法和射频滤波器。包括：S110、提供压电基板；S120、在压电基板上形成金属电极层，并对其进行图形化；在图形化的金属电极层上涂覆光刻胶层，并对光刻胶层进行曝光、显影，以形成与图形化的金属电极层相一致的图形；在压电基板上形成初始的温度补偿层，初始的温度补偿层的厚度与金属电极层的厚度一致；剥离曝光、显影后的光刻胶层，并在图形化的金属电极层和初始的温度补偿层上形成最终的温度补偿层；在最终的温度补偿层的表面形成钝化层。制作工艺简单，无需对温度补偿层的表面进行化学机械研磨工艺处理，从而可以简化射频滤波器的制作工艺，降低制作射频滤波器的制作成本，提高经济效益。 | ||
| 搜索关键词： | 射频滤波器 温度补偿层 金属电极层 图形化 压电基板 光刻胶层 制作工艺 制作 显影 化学机械研磨工艺 表面形成钝化层 厚度一致 曝光 刻胶层 涂覆 剥离 | ||
【主权项】：
1.一种射频滤波器的制作方法，其特征在于，包括：步骤S110、提供压电基板；步骤S120、在所述压电基板上形成金属电极层，并对所述金属电极层进行图形化；步骤S130、在图形化的金属电极层上涂覆光刻胶层，并对所述光刻胶层进行曝光、显影，以形成与所述图形化的金属电极层相一致的图形；步骤S140、在所述压电基板上形成初始的温度补偿层，所述初始的温度补偿层的厚度与所述金属电极层的厚度一致；步骤S150、剥离曝光、显影后的光刻胶层，并在图形化的金属电极层和所述初始的温度补偿层上形成最终的温度补偿层，所述最终的温度补偿层具有预设的厚度；步骤S160、在所述最终的温度补偿层的表面形成钝化层。
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