[发明专利]制备碳纳米管阵列的装置及方法有效
| 申请号： | 201810764482.6 | 申请日： | 2018-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN110713178B | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 刘亮;蔡琪;范守善 | 申请（专利权）人： | 清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/16 | 分类号： | C01B32/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区清*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种制备碳纳米管阵列的装置，其包括：一反应室，该反应室包括间隔设置的一第一进口和一第二进口；一气体扩散单元，该气体扩散单元位于所述反应室内，所述气体扩散单元为一中空结构并且具有一空间、一通孔和一出口；以及一气体传输管，该气体传输管包括相对一第一端和一第二端，该第一端从所述第二进口延伸出所述反应室，所述第二端位于所述反应室内并与所述通孔连接。本发明还涉及一种制备碳纳米管阵列的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 纳米 阵列 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制备碳纳米管阵列的装置，其包括：/n一反应室，该反应室包括间隔设置的一第一进口和一第二进口；/n一气体扩散单元，该气体扩散单元位于所述反应室内，所述气体扩散单元为一中空结构并且具有一空间、一通孔和一出口；以及/n一气体传输管，该气体传输管包括相对一第一端和一第二端，该第一端从所述第二进口延伸出所述反应室，所述第二端位于所述反应室内并与所述通孔连接。/n
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