[发明专利]一种大量程干涉式光栅尺及其测距方法有效
| 申请号： | 201810764638.0 | 申请日： | 2018-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN108709505B | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 李星辉;肖翔;倪凯;周倩;袁伟涵;陆海鸥;曾理江;王晓浩 | 申请（专利权）人： | 清华大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人： | 徐罗艳 |
| 地址： | 518055 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种大量程干涉式光栅尺及其测距方法，包括光栅阵列和双读数头系统，光栅阵列由多个光栅单元拼接而成，双读数头系统包括一激光器、一分光器、两个读数头及数据处理单元；激光器用于发出一激光束，分光器用于对激光束进行分光，以得到用于投射到光栅阵列的第一激光束和第二激光束；两个读数头分别获取对应于第一激光束和第二激光束的实时位移读数；数据处理单元用于对两个读数头的实时位移读数进行数据处理，获得实际位移；其中，所述数据处理包括：根据单读数头各自的实时位移读数以及光栅单元之间的间距，进行间距补偿和读数头状态判断；基于读数头所处的状态，利用单读数头的实时位移读数和间距补偿结果计算所述实际位移。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 量程 干涉 光栅尺 及其 测距 方法 | ||
【主权项】：
1.一种大量程干涉式光栅尺，其特征在于：包括光栅阵列和双读数头系统，所述光栅阵列由多个光栅单元拼接而成，所述双读数头系统包括一激光器、一分光器、两个读数头以及数据处理单元；所述激光器用于发出一激光束，所述分光器用于对所述激光束进行分光，以得到用于投射到所述光栅阵列的第一激光束和第二激光束；所述两个读数头分别获取对应于所述第一激光束和所述第二激光束的实时位移读数；所述数据处理单元用于对所述两个读数头的实时位移读数进行数据处理，获得实际位移；其中，所述数据处理包括：根据单读数头各自的实时位移读数以及光栅单元之间的间距，进行间距补偿和读数头状态判断；基于读数头所处的状态，利用单读数头的实时位移读数和间距补偿结果计算所述实际位移。
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