[发明专利]一种基于可生产大型基板的半自动曝光机在审
申请号: | 201810764897.3 | 申请日: | 2018-07-12 |
公开(公告)号: | CN110716392A | 公开(公告)日: | 2020-01-21 |
发明(设计)人: | 李诚 | 申请(专利权)人: | 东莞市多普光电设备有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 11596 北京易光知识产权代理有限公司 | 代理人: | 李韵 |
地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于可生产大型基板的半自动曝光机,包括有机架,机架前端中间装设有呈水平布置的框架平台机构,且框架平台宽度达1300mm以上,框架平台机构下方装设有至少6个呈水平布置的CCD影像机构,在机架侧面装设有电控模块,LED灯源呈上下平行装设于机架后端;框架平台机构包括有下框架,下框架上分别装设有下玻璃及密封胶条,在上下玻璃上表层沿四边有沟槽,下框架与上框架尾部铰链连接呈V形,在上框架内侧装设有上玻璃,通过驱动组件可开启或关闭上框架,在下框架左右两边有装设移框连接组件。本发明具有设计新颖、结构紧凑,效率高且便于切换大小基板操作的优点。 | ||
搜索关键词: | 框架平台 上框架 下框架 水平布置 装设 四边 大型基板 电控模块 机架侧面 连接组件 密封胶条 驱动组件 上下平行 尾部铰链 可开启 曝光机 上表层 上玻璃 下玻璃 有机架 基板 移框 两边 玻璃 生产 | ||
【主权项】:
1.一种基于可生产大型基板的半自动曝光机,其特征在于:包括有机架(01),机架(01)前端中间装设有呈水平布置的框架平台机构(02),且框架平台(02)宽度达1300mm以上,框架平台机构(02)下方装设有至少6个呈水平布置的CCD影像机构(03),在机架(01)侧面装设有电控模块(04),LED灯源(05)呈上下平行装设于机架(01)后端;/n框架平台机构(02)包括有下框架(21),下框架(21)上分别装设有下玻璃(25)及密封胶条(26),在上下玻璃上表层沿四边有沟槽(28),下框架(21)与上框架(23)尾部铰链连接呈V形,在上框架(23)内侧装设有上玻璃(24),通过驱动组件(22)可开启或关闭上框架(23),在下框架(21)左右两边有装设移框连接组件(27)。/n
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