[发明专利]晶圆缺陷识别方法、装置、存储介质和终端设备在审
| 申请号： | 201810765766.7 | 申请日： | 2018-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN110717881A | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 潘晓东 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 11313 北京市铸成律师事务所 | 代理人： | 陈建焕;杨瑾瑾 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提出一种晶圆缺陷识别方法、装置和终端设备，其中，所述方法包括：接收待识别的测试晶圆图片；将所述测试晶圆图片输入晶圆缺陷识别模型，以识别所述测试晶圆图片的晶圆缺陷；其中，所述晶圆缺陷识别模型是根据训练数据对卷积神经网络训练生成或更新的；所述训练数据包括已标识晶圆缺陷的晶圆图片；以及在所述测试晶圆图片中添加识别到的晶圆缺陷标识。采用本发明，能够快速准确地识别晶圆缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆缺陷 测试晶圆 训练数据 卷积神经网络 缺陷识别 图片输入 终端设备 图片 晶圆 种晶 更新 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆缺陷识别方法，其特征在于，包括：/n接收待识别的测试晶圆图片；/n将所述测试晶圆图片输入晶圆缺陷识别模型，以识别所述测试晶圆图片的晶圆缺陷；其中，所述晶圆缺陷识别模型是根据训练数据对卷积神经网络训练生成或更新的；所述训练数据包括已标识晶圆缺陷的晶圆图片；以及/n在所述测试晶圆图片中添加识别到的晶圆缺陷标识。/n
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