[发明专利]一种高精度芯片反应系统及方法在审
| 申请号： | 201810766673.6 | 申请日： | 2018-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN108614600A | 公开（公告）日： | 2018-10-02 |
| 发明（设计）人： | 王丽娜;冯淼;田会娟 | 申请（专利权）人： | 中国科学院天津工业生物技术研究所 |
| 主分类号： | G05D23/27 | 分类号： | G05D23/27;G05B19/042 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 杨慧玲 |
| 地址： | 300308 天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种高精度芯片反应系统，包括红外光源、DMD模块、芯片及芯片夹具、温控模块、试剂供给模块、操作控制模块以及实施模块；红外光源由滤光片滤光后，通过DMD模块及投射光路在芯片上投射光斑；芯片固定在芯片夹具中；芯片还连接实施模块，实施模块连接操作控制模块；温控模块连接芯片，芯片上设有若干测温点；DMD模块、温控模块、试剂供给模块、操作控制模块均通过信号处理电路连接计算机控制系统。本发明利用DMD可以精确定位投射影像和红外线能够通过辐射传递能量的特性，在不移动芯片的前提下，原位对芯片高精度分区加热，提高芯片产物利用率，减少芯片反应系统的错配率，并且提高芯片反应的通量。 | ||
| 搜索关键词： | 芯片 操作控制模块 反应系统 温控模块 高精度芯片 红外光源 试剂供给 芯片夹具 计算机控制系统 信号处理电路 分区加热 连接芯片 模块连接 投射光斑 投射光路 投射影像 芯片固定 移动芯片 测温点 红外线 滤光片 错配 滤光 通量 传递 辐射 | ||
【主权项】：
1.一种高精度芯片反应系统，其特征在于：包括红外光源、DMD模块、芯片及芯片夹具、温控模块、试剂供给模块、操作控制模块以及实施模块；所述红外光源由滤光片滤光后，通过DMD模块及投射光路在芯片上投射光斑；所述芯片固定在芯片夹具中，所述芯片上设有微通道，与试剂供给模块连接；所述芯片还连接反应所需的实施模块，所述实施模块连接操作控制模块；所述温控模块连接芯片，所述芯片上设有若干测温点；所述DMD模块、温控模块、试剂供给模块、操作控制模块均通过信号处理电路连接计算机控制系统，所述信号处理电路用于将各模块的数据发送到计算机控制系统中，并反馈信号给各模块，控制各模块工作。
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