[发明专利]铁电存储器件及其制造方法有效
| 申请号： | 201810768711.1 | 申请日： | 2018-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN109256386B | 公开（公告）日： | 2023-09-19 |
| 发明（设计）人： | 刘香根 | 申请（专利权）人： | 爱思开海力士有限公司 |
| 主分类号： | H10B53/00 | 分类号： | H10B53/00;H10B53/30 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 | 代理人： | 许伟群;李少丹 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了根据一个实施例的一种铁电存储器件以及制造铁电存储器件的方法。在该方法中，准备衬底。在衬底上形成界面绝缘层。在界面绝缘层上形成铁电材料层。在铁电材料层上形成包含第一金属元素的界面氧化物层。在界面氧化物层上形成包含第二金属元素的栅电极层。使铁电材料层和界面氧化物层经受结晶化热处理，以形成铁电层和铁电界面层。界面氧化物层与栅电极层反应，使得铁电界面层包含第一金属元素和第二金属元素。 | ||
| 搜索关键词： | 存储 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制造铁电存储器件的方法，所述方法包括：准备衬底；在所述衬底上形成界面绝缘层；在所述界面绝缘层上形成铁电材料层；在所述铁电材料层上形成包括第一金属元素的界面氧化物层；在所述界面氧化物层上形成包括第二金属元素的栅电极层；以及使所述铁电材料层和所述界面氧化物层经受结晶化热处理，以形成铁电层和铁电界面层；其中，所述界面氧化物层与所述栅电极层反应，使得所述铁电界面层包括所述第一金属元素和第二金属元素。
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