[发明专利]电离源及包括该电离源的二次离子质谱仪有效
申请号: | 201810770703.0 | 申请日: | 2018-07-13 |
公开(公告)号: | CN109256319B | 公开(公告)日: | 2020-07-24 |
发明(设计)人: | 崔明哲;李相珠;崔彰玟;朴恩智;金廷桓;白知映 | 申请(专利权)人: | 韩国基础科学支持研究院 |
主分类号: | H01J49/10 | 分类号: | H01J49/10;H01J49/34;G01N27/62 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 孙昌浩;李盛泉 |
地址: | 韩国忠清*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明公开一种电离源及包括该电离源的二次离子质谱仪。上述电离源可以包括:喷嘴电极,供应有气体;线状电极,布置在所述喷嘴电极之间,释放将所述喷嘴电极内的所述气体离子化的电子;接地电极,布置在所述喷嘴电极外部;以及,提取电极,布置在所述接地电极和所述喷嘴电极之间,将离子化的所述气体沿着所述接地电极的方向提取,所述提取电极包括:提取环,与所述喷嘴电极平行;以及,提取尾,连接于所述提取环内,从所述提取环朝着所述喷嘴电极的方向延伸。 | ||
搜索关键词: | 电离 包括 二次 离子 质谱仪 | ||
【主权项】:
1.一种电离源,其中,包括:喷嘴电极,供应有气体;线状电极,布置在所述喷嘴电极之间,释放将所述喷嘴电极内的所述气体离子化的电子;接地电极,布置在所述喷嘴电极外部;以及提取电极,布置在所述接地电极和所述喷嘴电极之间,将离子化的所述气体沿着所述接地电极的方向提取,其中,所述提取电极包括:提取环,与所述喷嘴电极平行;以及,提取尾,连接于所述提取环内,从所述提取环朝着所述喷嘴电极的方向延伸。
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