[发明专利]一种微观和宏观复合检查机在审
| 申请号： | 201810772506.2 | 申请日： | 2018-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN108613990A | 公开（公告）日： | 2018-10-02 |
| 发明（设计）人： | 刘磊;朴成秀;权永春;王刘洋 | 申请（专利权）人： | 江苏东旭亿泰智能装备有限公司;东旭光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/84;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 刘小峰 |
| 地址： | 223800 江苏省宿*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微观和宏观复合检查机，包括设备基台，微观检查装置和宏观检查装置，其中，所述设备基台上设置有使被检测物悬浮在所述设备基台上方的气浮孔；所述微观检查装置包括检查设备和带动所述检查设备移动的移动机构，所述检查设备可在所述设备基台上方移动，对被检测物进行微观检查；所述宏观检查装置包括旋转机构和固定所述被检测物的检查支架，所述检查支架通过旋转机构可旋转地固定在所述设备基台的一侧或端部。本发明通过将微观检查设备和宏观检查设备集成为一体式复合结构，微观检查和宏观检查可以在同一设备上进行，检查过程中不需要移动显示屏等被检测物，检查操作方便简单、设备体积小，可大大提高检查效率。 | ||
| 搜索关键词： | 被检测物 检查设备 微观检查 宏观检查装置 微观检查装置 旋转机构 检查机 基台 支架 检查 微观 一体式复合结构 复合 宏观检查设备 移动显示屏 宏观检查 检查过程 同一设备 移动机构 可旋转 气浮孔 体积小 移动 宏观 悬浮 | ||
【主权项】：
1.一种微观和宏观复合检查机，其特征在于，包括设备基台，微观检查装置和宏观检查装置，其中，所述设备基台上设置有使被检测物悬浮在所述设备基台上方的气浮孔；所述微观检查装置包括检查设备和带动所述检查设备移动的移动机构，所述检查设备可在所述设备基台上方移动，对被检测物进行微观检查；所述宏观检查装置包括旋转机构和固定所述被检测物的检查支架，所述检查支架通过旋转机构可旋转地固定在所述设备基台的一侧或端部。
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