[发明专利]多曲面多曲率表面铺展微透镜的激光制造装置及方法

摘要

本发明公开了多曲面多曲率表面铺展微透镜的激光制造装置及方法，首先从UV胶滴的多曲面多曲率微透镜光轴开始，利用非接触和非破坏性数字光学检测的机器视觉检测透镜轮廓将数据反馈给PC，通过PC调控以微透镜光轴中心为放大原点调节以孔中心为放大原点可调节孔径掩膜的直径，使UV胶滴顶冠的曲面类型和曲率半径吻合目标光学设计的非球面形和曲率的要求，再控制紫外固化激光束进行预固化。再通过调控高压来调控UV胶滴顶冠、被固化的外围曲面类型和曲率半径，使UV胶滴顶冠的曲面类型和曲率半径吻合目标光学设计的非球面形和曲率的要求再次控制紫外固化激光束进行预固化，进而实现激光原位固化多曲面曲率铺展表面微透镜的成形制造。

主权项

1.多曲面多曲率表面铺展微透镜的激光制造装置，其特征在于：该装置包括紫外固化激光束(1)，以孔中心为放大原点可调节孔径掩膜(2)，透过掩膜紫外光束(3)，高压静电场上极板—透明导电玻璃(4)，UV胶滴(5)，荧光微检测工作单元,也是调控曲面和曲率电场的接地极(6)，基于机器视觉的光学胶非球面轮廓实时检测系统(7)和PC(9)；紫外固化激光束(1)和以孔中心为放大原点可调节孔径掩膜(2)的位置相对应，高压静电场上极板—透明导电玻璃(4)和以孔中心为放大原点可调节孔径掩膜(2)的位置相对应；紫外固化激光束(1)发出的紫外光依次通过以孔中心为放大原点可调节孔径掩膜(2)，获得光束大小可控的透过掩膜紫外光束(3)，再通过高压静电场上极板—透明导电玻璃(4)，UV胶滴(5)和荧光微检测工作单元(6)；UV胶滴(5)在荧光微检测工作单元(6)上进行原位制造多曲面多曲率微透镜，且UV胶滴(5)在荧光微检测工作单元的顶部采用导电材质并接地作为负极；基于机器视觉的光学胶非球面轮廓实时检测系统(7)将采集到UV胶滴(5)外轮廓形貌数据传输给PC(9)，PC(9)实时控制以孔中心为放大原点可调节孔径掩膜(2)的孔径大小。