[发明专利]一种基于接口为CF400的分子泵抽速测试系统及方法有效
| 申请号： | 201810772557.5 | 申请日： | 2018-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN109026804B | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 卢耀文;董云宁;齐京;闫睿;王欢;柏向春;延峰 | 申请（专利权）人： | 北京东方计量测试研究所 |
| 主分类号： | F04D27/00 | 分类号： | F04D27/00 |
| 代理公司： | 北京善任知识产权代理有限公司 11650 | 代理人： | 陈艳;王军 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种基于接口为CF400的分子泵抽速测试系统及方法，该系统仅采用流量法一种方法测量抽速，研制了满足CF400分子泵测试需求的超高真空测试罩，采用复合型标准气体流量计在一套系统上实现了真空罩内处于10 |
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| 搜索关键词： | 一种 基于 接口 cf400 分子 泵抽速 测试 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于接口为CF400的分子泵抽速测试系统，其特征在于，该系统包括：机械泵(RP)、分子泵(TMP)、三个真空阀门(V1，V2，V3)、二个真空室(VC1，VC2)、两个真空计(G1，G2)、一个复合型标准气体流量计(Q1)和一个气瓶(GAS)，在该系统中，真空系统的机械泵(RP)通过第一阀门(V1)与分子泵(TMP)的抽气出口连接，分子泵(TMP)的入口与第一真空室(VC1)连接，第一真空室(VC1)上面接了副标准电离真空计(G1)、监测真空计(G2)和第三阀门(V3)，第三阀门(V3)的另一端与第二真空室(VC2)连接，第二真空室上面连接了第三阀门(V3)、复合型标准气体流量计(Q1)的出气口，复合型标准气体流量计(Q1)的进气口与第二阀门(V2)连接，第二阀门(V2)的另一端与气瓶(GAS)连接。
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