[发明专利]一种光热探测器的制备方法

摘要

本发明属于探测器技术领域，具体涉及一种光热探测器及其制备方法，光热探测器由基底层、介质层、第一纳米层和第二纳米层由下及上依次连接构成，第一纳米层由热释电块和金属球相间连接构成，以热释电块开始，且以热释电块结束，第一纳米层两侧的热释电块分别设有第一电极和第二电极用于连接外电路，第二纳米层为石墨烯薄膜层，金属球由贵金属材料制成。通过采用多层纳米层加强对入射光的吸收，利用金属球和石墨烯薄膜层的组合设计，形成与入射光的强烈耦合效应，从而加光热探测器对于入射光的吸收，提高光信号的捕捉效率，从而达到提高探测效果的目的，且结构简单，制备过程简单方便，易于操作。

主权项

1.一种光热探测器，其特征在于：由基底层、介质层、第一纳米层和第二纳米层由下及上依次连接构成；所述第一纳米层由热释电块和金属球相间连接构成，以热释电块开始，且以热释电块结束；所述第一纳米层两侧的热释电块分别设有第一电极和第二电极用于连接外电路；所述第二纳米层为石墨烯薄膜层；所述金属球由贵金属材料制成。