[发明专利]背板的液冷管活化方法在审
| 申请号： | 201810777815.9 | 申请日： | 2018-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN110724916A | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 友矿材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23G1/02 |
| 代理公司： | 32260 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 张欢勇 |
| 地址： | 中国台湾新竹县竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明揭露一种背板的液冷管活化方法，其包括：制备一反应剂、活化背板的液冷管、清洁背板的液冷管、干燥背板的液冷管、以及液冷管清洁度检视等步骤。藉由上述步骤的组成，用以对背板的液冷管管壁污垢进行清洁，以确保液冷管管壁与流经的冷却流体其热交换的效率，避免背板上粘设的靶材于后续溅镀制程中，因热交换效率不佳而导致背板(靶材)积温过高、制程停摆的缺失。 | ||
| 搜索关键词： | 背板 液冷管 靶材 活化 液冷 制程 热交换 热交换效率 清洁度 冷却流体 清洁 反应剂 污垢 积温 检视 溅镀 粘设 制备 | ||
【主权项】：
1.一种背板的液冷管活化方法，用以对一背板的液冷管进行清洁，其特征在于，包括：/n(a)制备一反应剂：取一清洗剂与一水以一预设比例混合形成反应剂；其中，清洗剂的制备，于每重量份中包括15％-25％重量份的己二酸、6％-12％重量份的甲酸、6％-12％重量份的2-烃基丙烷-1，2，3-三羫酸、3％-7％重量份的磷酸、以及40％-60％重量份的去离子水；/n(b)活化背板的液冷管：将反应剂自液冷管的进水孔灌入，使反应剂与液冷管管壁上的水垢反应并使其剥落，随反应剂自液冷管的出水孔流出；/n(c)清洁背板的液冷管：取一溶剂自液冷管的进水孔灌入，并自液冷管的出水孔流出，以去除反应剂及其剥落的水垢；/n(d)干燥背板的液冷管：取一高压气体自液冷管的进水孔灌入，并自液冷管的出水孔流出，以去除液冷管内的溶剂，且使液冷管管壁形成干燥；以及/n(e)液冷管清洁度检视:取一内视镜仪器将检测端伸入液冷管内，确认液冷管管壁90％以上的区域皆无水垢。/n
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