[发明专利]一种基于纳米碳材料/硅异质结的X射线探测器及其制备方法

摘要

本发明的纳米碳材料/硅异质结X射线探测器，使用纳米碳材料与硅构成异质结，同时纳米碳材料作为X射线的透明窗口层和器件的上电极。其中，纳米碳材料为原子序数为6的碳元素构成。在同等厚度下，该材料对X射线的透过率相对于传统的金材料(原子序数79)大幅提高。以针对1keV光子能量的X射线为例，250nm的纳米碳材料的射线透过率达95％，而250nm的金材料的射线透过率小于5％。即在同样的辐照条件下，本发明所述探测器可用于使硅中电子空穴电离、并产生电信号的有效X射线光子数目将远大于传统的金硅面垒探测器，从而可以大幅提高探测器的响应率。

主权项

1.一种基于纳米碳材料/硅异质结的X射线探测器，其特征在于：该探测器包括纳米碳材料层(1)、硅片(2)和下电极层(3)；硅片(2)的上面为纳米碳材料层(1)，硅片(2)的下面为下电极层(3)；所述的纳米碳材料层(1)的厚度为250nm～10μm。