[发明专利]用于片材双面沉积涂层的夹具及沉积装置

摘要

本发明提供了一种用于片材双面沉积涂层的夹具及沉积装置，涉及涂层沉积辅助设备技术领域。该用于片材双面沉积涂层的夹具包括夹具本体和第一驱动件；夹具本体包括用于固定片材的固定件以及与固定件连接的第二驱动件，第二驱动件能够随第一驱动件转动，从而带动片材翻转。本发明的夹具利用磁电感应力或磁力等作用力在不开炉情况下实现片材的翻转，在不改变炉子现有结构的前提下实现了片材双面涂层的连续沉积，使用该夹具双面沉积涂层效率高、成本低且易于实施。本发明还提供一种沉积装置，包括炉体，上述夹具的夹具本体位于炉体内，第一驱动件位于炉体外，该沉积装置适用于对片材双面进行连续的涂层沉积，效率高，生产周期短。

主权项

1.一种用于片材双面沉积涂层的夹具，其特征在于，包括夹具本体和第一驱动件；所述夹具本体包括用于固定片材的固定件以及与所述固定件连接的第二驱动件，所述第二驱动件能够随所述第一驱动件转动，从而带动片材翻转。