[发明专利]一种基于多层及大面积石墨烯生长用石英舟的石墨烯生长方法在审
| 申请号： | 201810781188.6 | 申请日： | 2018-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN108862253A | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 邱锋;李波;王茺 | 申请（专利权）人： | 云南大学 |
| 主分类号： | C01B32/186 | 分类号： | C01B32/186 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 650091 云*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明属于石墨烯生长的技术领域，尤其涉及基于石墨烯生长用一层、多层、卷对卷等多功能支撑平台的石墨烯生长方法，所述平台包括管状石英舟、石英插板和石英滑块；所述的管状石英舟是管状石管，其外径小于生长用石英管内径，且其管状石英舟外壁可采用金属箔卷绕，实现大面积卷对卷石墨烯生长；所述的石英插板是多层上下平行的石英插板，可实现单层或多层石墨烯生长，其与管状石英舟内壁以点焊连接；所述的石英滑块用于支撑管状石英舟在生长用石英管内部滑动。本发明的有益效果是：基于设计的石墨烯生长平台，可同时实现石墨烯生长用的单层、多层、卷对卷等多功能石墨烯生长需求，解决了单次装载金属基底较少，以及大面积石墨烯生长需求的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 生长 石墨烯 管状石英 石英 多层 卷对卷 插板 大面积石墨烯 石英管 单层 滑块 多层石墨烯 多功能支撑 点焊连接 金属箔卷 上下平行 金属基 石英舟 滑动 内壁 石管 外壁 装载 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种基于多层及大面积石墨烯生长用石英舟的石墨烯生长方法，其特征在于：石英舟包括管状石英舟（2）、石英插板（3）和石英滑块（4）；所述管状石英舟（2）位于管状石英管（1）内；所述的石英插板（3）水平插入管状石英舟（2）内；所述的石英滑块（4）位于管状石英舟（2）外壁的两端；基于此新型石英舟，石墨烯生长可在管状化学气相沉积系统中进行。
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