[发明专利]一种测量燃料电池局部温度用薄膜热电偶制作方法在审
| 申请号： | 201810783958.0 | 申请日： | 2018-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN109216535A | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 丁靖;唐于晴;蔡赛杰;屈治国;陶文铨 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | H01L35/34 | 分类号： | H01L35/34;H01M8/04007;G01K7/02 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 高博 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种测量燃料电池局部温度用薄膜热电偶制作方法，在硅片上镀一层牺牲层；在牺牲层上沉积一层Parylene薄膜作为薄膜热电偶的下层保护层；在Parylene薄膜上旋涂光刻胶进行图案化，然后镀一层铜镍合金，去除多余铜镍合金得到图案化的铜镍电极；在Parylene薄膜上旋涂光刻胶进行图案化，然后镀一层铜，去除多余的铜得到图案化的铜电极；在铜镍电极和铜电极上沉积一层Parylene薄膜作为薄膜热电偶的上层保护层；在Parylene薄膜上旋涂光刻胶进行图案化，然后镀一层铝，去除多余的铝得到图案化的硬掩膜，然后刻蚀Parylene薄膜，露出电极引脚并在薄膜上刻蚀通流孔；将牺牲层溶解掉，将薄膜从硅片上剥离下来得到薄膜热电偶。本发明制作的薄膜热电偶，具有厚度薄、测温点尺寸小的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜热电偶 图案化 光刻胶 牺牲层 去除 上旋 测量燃料电池 铜镍电极 铜镍合金 铜电极 硅片 刻蚀 薄膜 沉积 制作 上层保护层 下层保护层 电极引脚 测温点 通流孔 硬掩膜 溶解 剥离 | ||
【主权项】：
1.一种测量燃料电池局部温度用薄膜热电偶制作方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、依次使用食人鱼洗液和去离子水清洗硅片，然后将硅片吹干；S2、在硅片上镀一层牺牲层；S3、在牺牲层上沉积一层Parylene薄膜作为薄膜热电偶的下层保护层；S4、在下层保护层上旋涂光刻胶，接着通过曝光、显影，对光刻胶进行图案化，然后镀一层铜镍合金，采用剥离工艺去除多余铜镍合金得到图案化的铜镍电极；S5、在下层保护层上旋涂光刻胶，接着通过曝光、显影，对光刻胶进行图案化，然后镀一层铜，采用剥离工艺去除多余的铜得到图案化的铜电极；S6、在铜镍电极和铜电极上沉积一层Parylene薄膜作为薄膜热电偶的上层保护层；S7、在上层保护层上旋涂光刻胶，接着通过曝光、显影，对光刻胶进行图案化，然后镀一层铝，采用剥离工艺去除多余的铝得到图案化的硬掩膜，然后使用氧气等离子体刻蚀上层保护层，露出电极引脚并刻蚀通流孔；S8、步骤S7完成后，将步骤S2制备的牺牲层溶解掉，剥离硅片得到薄膜热电偶。
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