[发明专利]基于MEMS技术的心音心电微型原位同步检测传感器

摘要

本发明为一种基于MEMS技术的心音心电微型原位同步检测传感器，包括壳体，壳体上固定有透声帽，壳体内设有支撑板，支撑板上安装有MEMS声传感器微结构，MEMS声传感器微结构由支撑框架、中心质量块、悬臂梁及四个压敏电阻组成；壳体的外围套装有一圈心电电极，心电电极的外围套装有一圈吸盘；心电电极包括顶面为针尖式微阵列设计的柔性导电基底，柔性导电基底的顶面依次溅射有金属种子层和金属层、背面涂覆有导电银胶层。相比于传统的听诊器或是心电传感器，本发明传感器利用MEMS技术将心音、心电集于一体，进而能够实现冠心病的多参数联合分析诊断，具有灵敏度高，体积小，可批量加工，低成本等优点。

主权项

1.一种基于MEMS技术的心音心电微型原位同步检测传感器，其特征在于：包括顶部为敞口设计的壳体（1），壳体（1）的敞口端密封固定有透声帽（2），壳体（1）的壳底上开设有注油孔和引线孔，壳体（1）内安装有支撑板（3），支撑板（3）上固定有MEMS声传感器微结构（4），MEMS声传感器微结构（4）由SOI硅圆片通过ICP等离子刻蚀技术刻蚀得到，其包括支撑框架（4‑1）以及设置于支撑框架（4‑1）中心位置的中心质量块（4‑2），中心质量块（4‑2）的两端分别通过悬臂梁（4‑3）与支撑框架（4‑1）连接固定，每根悬臂梁（4‑3）的俩端分别利用等离子注入技术注入硼离子形成压敏电阻（4‑4），四个压敏电阻（4‑4）的阻止相等，并且四个压敏电阻（4‑4）通过金属引线相连接形成一个可以检测心音与呼吸音信号的惠斯通全桥差动电路；MEMS声传感器微结构（4）输出端的导线从引线孔穿出，壳体（1）的内部空间通过注油孔注充有硅油，注油孔和引线孔密封处理；壳体（1）的外围套装有一圈心电电极（5），心电电极（5）的外围套装有一圈吸盘（6）；心电电极（5）包括顶面为针尖式微阵列（5‑5）设计的柔性导电基底（5‑1），柔性导电基底（5‑1）的顶面溅射有金属种子层（5‑2），金属种子层（5‑2）上溅射有金属层（5‑3），柔性导电基底（5‑1）的背面涂覆有导电银胶层（5‑4）。