[发明专利]四足压电步进运动台及集成直线电机

摘要

本发明提供了一种四足压电步进运动台及集成直线电机，包括四足压电步进运动台及直线电机，所述四足压电步进运动台包括第一驱动足、第二驱动足、第三驱动足、第四驱动足、第一支撑机构、第二支撑机构、第三支撑机构、第四支撑机构、预紧机构、动子和基座；所述第一驱动足、第二驱动足、第三驱动足和第四驱动足相对于所述动子呈对称分布，且所述第一驱动足和所述第二驱动足分别与所述第三驱动足和所述第四驱动足分别沿所述动子径向对称分布，所述第一驱动足和所述第三驱动足分别与所述第二驱动足和所述第四驱动足分别沿所述动子轴向对称分布。本技术方案可适用于极端环境、对响应速度要求高的环境，还能解决大行程、大推力与高精度难以兼顾的问题。

主权项

1.一种四足压电步进运动台，包括第一驱动足、第二驱动足、第三驱动足、第四驱动足、第一支撑机构、第二支撑机构、第三支撑机构、第四支撑机构、预紧机构、动子和基座；其特征在于：所述第一驱动足、第二驱动足、第三驱动足和第四驱动足相对于所述动子呈对称分布，且所述第一驱动足和所述第二驱动足分别与所述第三驱动足和所述第四驱动足分别沿所述动子径向对称分布，所述第一驱动足和所述第三驱动足分别与所述第二驱动足和所述第四驱动足分别沿所述动子轴向对称分布；所述第一驱动足的一端通过所述第一支撑机构与所述基座固定连接，另一端通过所述预紧机构紧抱所述动子；所述第二驱动足的一端通过所述第二支撑机构与所述基座固定连接，另一端通过所述预紧机构紧抱所述动子；所述第三驱动足的一端通过所述第三支撑机构与所述基座固定连接，另一端通过所述预紧机构紧抱所述动子；所述第四驱动足的一端通过所述第四支撑机构与所述基座固定连接，另一端通过所述预紧机构紧抱所述动子。