[发明专利]一种感压膜中间固定式电容压力传感器及制作方法在审
| 申请号： | 201810788069.3 | 申请日： | 2018-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN109141728A | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 郝秀春;李宇翔;汪赟;蒋纬涵;陈忠位 | 申请（专利权）人： | 江苏大学 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 212013 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种感压膜中间固定式电容压力传感器及制作方法，涉及到MEMS领域。该压力传感器由基底100、感压膜102、真空腔101、电极201和电极203构成，其中基底、真空腔和感压膜为一个整体。当感压膜受到压力时会产生变形，使感压膜102与电极板202之间的距离发生改变，导致二者之间的电容发生变化，通过电极201和电极203检测电容。本发明的基底100、感压膜102、真空腔由紫外光刻、干法刻蚀和真空高温退火工艺一次形成，无需真空密封工艺，提高稳定性、可靠性；本发明的感压膜由中间固定支柱固定在基底上，可在很大的压力范围内均具有很好的线性度，扩大传感器的使用量程。 | ||
| 搜索关键词： | 感压膜 电极 基底 真空腔 电容压力传感器 固定式 压力传感器 干法刻蚀 固定支柱 检测电容 退火工艺 一次形成 真空高温 真空密封 紫外光刻 传感器 电极板 线性度 电容 量程 制作 变形 | ||
【主权项】：
1.一种电容式压力传感器，其特征在于，包括基底(100)、真空腔(101)、感压膜(102)、中间固定支柱(103)、电极板(202)；基底(100)、感压膜(102)和中间固定支柱(103)为同一材料的一个整体；基底(100)和感压膜(102)之间形成密闭真空腔(101)，真空腔(101)为截面为环形的柱状空间；感压膜(102)的中部和基底(100)通过中间固定支柱(103)相连；电极板(202)下端有上电极(201)、下电极(203)，电极板(202)与感压膜(102)所在部分通过键合的方式连接，并形成良好欧姆接触，在电极板(202)与感压膜(102)之间或在电极板(202)表面加工孔形成空气通道，使感压膜感受压力变化。
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