[发明专利]一种光阻组合物及其剥离方法有效
| 申请号： | 201810791047.2 | 申请日： | 2018-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN109188864B | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 王建刚 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/42 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 钟子敏 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光阻组合物及其剥离方法，该光阻组合物包括：光阻和光致形变物质，其中，在光照条件下，所述光阻组合物中的所述光致形变物质自身发生变形，以使所述光阻组合物发生收缩变形。通过上述方式，本发明能够提高所述光阻组合物的剥离效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 组合 及其 剥离 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光阻组合物，其特征在于，所述光阻组合物包括：光阻和光致形变物质，其中，在光照条件下，所述光阻组合物中的所述光致形变物质自身发生变形，以使所述光阻组合物发生收缩变形。
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