[发明专利]粉尘飞散防止装置及具备该粉尘飞散防止装置的基板加工装置在审
| 申请号： | 201810793557.3 | 申请日： | 2018-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN109318375A | 公开（公告）日： | 2019-02-12 |
| 发明（设计）人： | 上野勉;高松生芳;西尾仁孝 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D1/22 | 分类号： | B28D1/22;B28D1/24;B28D5/02;B28D7/02;B28D7/04;C03B33/027;C03B33/03;C03B33/033;C03B33/07 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 肖茂深 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种能够减轻基板加工过程中的粉尘等微小异物的飞散并防止粉尘附着于基板而得到高品质的产品的粉尘飞散防止装置及具备该粉尘飞散防止装置的基板加工装置。本发明的粉尘飞散防止装置具备加工部用粉尘飞散防止装置(15A)和搬运部用粉尘飞散防止装置(14A、16A)，加工部用粉尘飞散防止装置(15A)具备：罩(15)，其以隔开空间的方式覆盖基板加工部；以及减压机构，其始终对该罩(15)内的空间进行减压，搬运部用粉尘飞散防止装置(14A、16A)具备：罩(14、16)，其以隔开空间的方式覆盖基板(W)的表面；以及加压机构，其始终对该罩(14、16)内的空间进行加压。 | ||
| 搜索关键词： | 粉尘飞散防止装置 基板加工装置 覆盖基板 隔开空间 搬运 粉尘 加工 基板加工 加压机构 减压机构 微小异物 减压 高品质 飞散 附着 基板 加压 | ||
【主权项】：
1.一种粉尘飞散防止装置，其防止在基板加工装置中的基板加工部及基板搬运部产生的粉尘的飞散，其特征在于，所述粉尘飞散防止装置具备：加工部用粉尘飞散防止装置，其形成于所述基板加工部；以及搬运部用粉尘飞散防止装置，其形成于所述基板搬运部，所述加工部用粉尘飞散防止装置具备：第一罩，其以隔开空间的方式覆盖所述基板加工部；以及减压机构，其始终对该第一罩内的空间进行减压，所述搬运部用粉尘飞散防止装置具备：第二罩，其以隔开空间的方式覆盖搬运来的基板的表面；以及加压机构，其始终对该第二罩内的空间进行加压。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三星钻石工业股份有限公司，未经三星钻石工业股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810793557.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：断裂装置
- 下一篇：粉尘飞散防止装置及具备该粉尘飞散防止装置的基板加工装置
