[发明专利]一种电阻蒸发器有效
| 申请号： | 201810794178.6 | 申请日： | 2018-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN108624849B | 公开（公告）日： | 2023-09-22 |
| 发明（设计）人： | 施戈;李长栋;谢实洋 | 申请（专利权）人： | 北京泰科诺科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 王戈 |
| 地址： | 100000 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电阻蒸发器。该电阻蒸发器的蒸发器本体通过法兰接口设置在真空设备内，真空设备用于使蒸发器本体处于真空环境中；水冷电极与蒸发器本体连接，并穿过法兰接口延伸至真空设备外；蒸发器本体包括坩埚、加热器、屏蔽层、控温热电偶和PID控制器；坩埚的侧面的外壁上包裹有加热器，加热器通过水冷电极与真空设备外的加热电源电连接；加热器的外侧对应设置多层屏蔽层；控温热电偶的一端与PID控制器电连接，另一端穿过屏蔽层与加热器对应设置；PID控制器与加热电源电连接。该电阻蒸发器能够对其所处环境的温度进行实时监控，保证了坩埚内温度的稳定，提高了待蒸发物质蒸发速率的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电阻 蒸发器 | ||
【主权项】：
1.一种电阻蒸发器，其特征在于，包括：蒸发器本体、水冷电极和法兰接口；所述蒸发器本体通过所述法兰接口设置在真空设备内，所述真空设备用于使所述蒸发器本体处于真空环境中；所述水冷电极与所述蒸发器本体连接，并穿过所述法兰接口延伸至所述真空设备外；所述蒸发器本体包括坩埚、加热器、屏蔽层、控温热电偶和PID控制器；所述坩埚用于放置待蒸发物质；所述坩埚的侧面的外壁上包裹有加热器，所述加热器通过所述水冷电极与所述真空设备外的加热电源电连接；所述加热器的外侧对应设置多层屏蔽层，所述屏蔽层用于吸收所述加热器的外侧散发的热量；所述控温热电偶的一端与所述PID控制器电连接，另一端穿过所述屏蔽层与所述加热器对应设置，用于检测所述加热器的外侧温度；所述PID控制器与所述加热电源电连接，用于控制所述加热器加热温度的稳定。
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