[发明专利]金属硅精炼深度除杂方法有效

专利信息
申请号: 201810795800.5 申请日: 2018-07-18
公开(公告)号: CN108914203B 公开(公告)日: 2020-02-07
发明(设计)人: 羊实;周旭 申请(专利权)人: 成都斯力康科技股份有限公司
主分类号: C30B28/06 分类号: C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 51220 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 代理人: 唐邦英
地址: 610000 四川省成都市天府*** 国省代码: 四川;51
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明公开了金属硅精炼深度除杂方法,解决了现有的金属硅在精炼过程中存在杂质扩散不充分而去除不干净的问题。本发明包括如下步骤:将金属硅置于石英坩埚中,并采用真空熔炼炉进行加热并抽真空;注入保护性气体;熔炼温度上升到1450℃‑1750℃时,石英坩埚底部通氯气,保温1‑4小时;下降石英坩埚,使得石英坩埚中的高纯硅熔融液从下向上逐渐定向凝固提纯得到高纯硅锭;待石英坩埚冷却,取出石英坩埚,并将高纯硅锭的顶部和与石英坩埚粘黏的部分切除;所述石英坩埚包括坩埚本体和设置在坩埚本体内侧壁上的凹凸部。本发明具有金属硅中杂质扩散去除充分,提纯效果好等优点。
搜索关键词: 石英坩埚 金属硅 高纯硅锭 深度除杂 杂质扩散 坩埚本体 去除 精炼 保护性气体 真空熔炼炉 氯气 定向凝固 精炼过程 提纯效果 凹凸部 抽真空 高纯硅 内侧壁 熔融液 熔炼 提纯 粘黏 保温 加热 冷却 切除 取出
【主权项】:
1.金属硅精炼深度除杂方法,其特征在于,包括以下步骤:/n步骤一:将金属硅置于石英坩埚中,并采用真空熔炼炉进行加热并抽真空;/n步骤二:注入保护性气体;/n步骤三:熔炼温度上升到1450℃-1750℃时,石英坩埚底部通氯气,保温1-4小时;/n步骤四:下降石英坩埚,使得石英坩埚中的高纯硅熔融液从下向上逐渐定向凝固提纯得到高纯硅锭;/n步骤五:待石英坩埚冷却,取出石英坩埚,并将高纯硅锭的顶部和与石英坩埚粘黏的部分切除;/n所述石英坩埚包括设置在内侧壁上的凹凸部,所述凹凸部为锯齿状。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于成都斯力康科技股份有限公司,未经成都斯力康科技股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201810795800.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top