[发明专利]一种同轴MEMS微镜及其制备方法在审
| 申请号： | 201810796901.4 | 申请日： | 2018-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN109019505A | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 程进;徐乃涛;孙其梁;汤红;臧寿兵 | 申请（专利权）人： | 中科芯集成电路股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 无锡派尔特知识产权代理事务所(普通合伙) 32340 | 代理人： | 杨立秋 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市滨湖区蠡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种同轴MEMS微镜及其制备方法，属于激光雷达探测技术领域。所述同轴MEMS微镜包括边框和边框内的第一微镜、第二微镜、转轴和多个梳齿。其中，转轴将边框分隔为两部分，第一微镜和第二微镜分别位于两部分中，并且通过连接梁连接，连接梁与转轴连接；多个梳齿在连接梁的两侧，梳齿一侧的定齿与边框连接，另一侧的动齿与连接梁连接。该同轴MEMS采用同轴双镜面结构，可以得到两个转角相同的微反射镜面，同时只需要采用一个MEMS微镜芯片，降低激光雷达的光学装配难度、电路控制难度及生产成本，同时利于激光雷达小型化的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 边框 同轴 连接梁 微镜 激光雷达 梳齿 转轴 制备 转角 电路控制 反射镜面 探测技术 转轴连接 装配难度 双镜面 定齿 动齿 分隔 生产成本 芯片 | ||
【主权项】：
1.一种同轴MEMS微镜，其特征在于，包括边框和所述边框内的第一微镜、第二微镜、转轴和多个梳齿；其中，所述转轴将所述边框分隔为两部分，所述第一微镜和所述第二微镜分别位于边框的两部分中，并且所述第一微镜和所述第二微镜通过连接梁连接，所述连接梁与所述转轴连接；多个梳齿在所述连接梁的两侧，并且梳齿一侧的定齿与所述边框连接，另一侧的动齿与所述连接梁连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中科芯集成电路股份有限公司，未经中科芯集成电路股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810796901.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种电阻可调的互联硅通孔的制作方法
- 下一篇：Mg
