[发明专利]一种MOSFET栅氧化层电容校准结构有效
| 申请号： | 201810800725.7 | 申请日： | 2018-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN108899320B | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 韩晓婧;彭兴伟 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/098 | 分类号： | H01L27/098;H01L23/528 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提出一种MOSFET栅氧化层电容校准结构，包括：有源区本体；栅极，位于所述有源区本体之上；源极和漏极，位于所述有源区本体的两端，且所述源极和所述漏极分别位于所述栅极的两侧；阱区，位于所述有源区本体和栅极外侧，所述阱区上设置有接触孔。本发明提出的MOSFET栅氧化层电容校准结构，在通常的MOSFET栅氧化层电容校准结构中保留有源区和栅极多晶硅，仅去除源漏极和栅极上的contact，可以去除包括源漏互联线对栅的寄生电容、源漏互联线对阱的寄生电容、栅上互联线对阱的寄生电容等在内的一系列寄生电容，从而进行更为精确的校准，得到更准确的MOSFET栅氧化层电容仿真模型。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mosfet 氧化 电容 校准 结构 | ||
【主权项】：
1.一种MOSFET栅氧化层电容校准结构，其特征在于，包括：有源区本体；栅极，位于所述有源区本体之上；源极和漏极，位于所述有源区本体的两端，且所述源极和所述漏极分别位于所述栅极的两侧；阱区，位于所述有源区本体和栅极外侧，所述阱区上设置有接触孔。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
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