[发明专利]用于测试和标定场发射电子源阵列的场发射显微镜系统

摘要

一种用于测试和标定场发射电子源阵列的场发射显微镜系统，该系统的连接关系是：主光源通过半反射镜片和电机驱动镜与副光源共同产生光源照明；在光路子系统中，图像依次经过玻璃真空腔壁、电机驱动镜头和半反射镜片产生目镜图像；高速摄像机生成高帧率图像和低帧率图像；低帧率图像通过图像处理软生成对焦控制信号用于控制电机驱动镜头以提高图像的清晰度；同步控制器产生摄像机控制信号、电流采集控制信号和电源控制信号，用以控制高速摄像机，脉冲高压电源和高速电流采集；脉冲高压电源在图像记录部件中的场发射电子源和透明导电层之间施加高压脉冲，并产生场发射电流；高速电流采集将场发射电流数字化产生电流数据。

主权项

1.一种用于测试和标定场发射电子源阵列的场发射显微镜系统，其特征在于：该系统包括图像记录部件，光路子系统，高速摄像机，脉冲高压电源，高速电流采集，高速网络，同步控制器，图像处理软件和数据存储器；其中，光路子系统包括主光源，副光源，玻璃真空腔壁，电机驱动镜头，及半反射镜片；/n所述主光源通过半反射镜片和电机驱动镜与副光源共同产生光源照明，为图像提供足够的照度；光源照明透过玻璃真空腔壁照亮图像记录部件；在图像记录部件上产生的场发射图像通过光路子系统进入高速摄像机；在光路子系统中，图像依次经过玻璃真空腔壁、电机驱动镜头和半反射镜片产生目镜图像；高速摄像机生成高帧率图像和低帧率图像；低帧率图像通过图像处理软生成对焦控制信号用于控制电机驱动镜头以提高图像的清晰度；同步控制器产生摄像机控制信号、电流采集控制信号和电源控制信号，用以控制高速摄像机，脉冲高压电源和高速电流采集；脉冲高压电源在图像记录部件中的场发射电子源和透明导电层之间施加高压脉冲，并产生场发射电流；高速电流采集将场发射电流数字化产生电流数据；高速摄像机生成的高帧率图像通过高速网络与高速电流采集捕获的电流数据产生混合数据输送到数据存储器进行存储，所储存的混合数据将用于存档和后期分析研究。/n