[发明专利]一种在二维材料上制备金属电极的方法

摘要

本发明公开了一种在二维材料上制备金属电极的方法，它包括：固定铜网：在载玻片上铺设聚二甲基硅氧烷薄膜，再在该薄膜中心铺一层聚乙烯醇薄膜，在薄膜中心区域用两条双面胶带将铜网黏附在两胶带中间区域；对准：将表面有二维材料的衬底采用二维材料转移台与铜网实现对准后，对衬底升温到60‑80℃，保持60‑120秒，移除转移台，聚乙烯醇薄膜与聚二甲基硅氧烷薄膜之间发生脱落，再将聚乙烯醇薄膜从胶带上撕去，留下胶带和铜网在衬底上；蒸镀电极：将衬底放到电子束蒸发设备中，设定所需电极要求进行蒸镀，蒸镀完成后，将胶带和铜网从衬底中剥离，在二维材料上制得金属电极。本发明具有制备效率高、精度高、制作简便、稳定性好、坚固耐用，且成本低廉的优点。

主权项

1.一种在二维材料上制备金属电极的方法，其特征在于，该方法包括以下具体步骤：步骤1：固定铜网在载玻片上铺一层聚二甲基硅氧烷薄膜，其薄膜面积为1‑ 4cm2，再在聚二甲基硅氧烷薄膜中心区域铺一层聚乙烯醇薄膜，聚乙烯醇薄膜面积小于聚二甲基硅氧烷薄膜；切取两条聚酰亚胺胶带，胶带长度以不超出聚乙烯醇薄膜为准，宽度为1‑7mm，用双面胶将两聚酰亚胺胶带的一面以中心对称分别黏附在聚乙烯醇薄膜上，两胶带之间间距为1‑6mm，再将铜网黏附在两根胶带中间区域；步骤2：对准将表面具有二维材料的衬底，采用二维材料转移台与铜网实现对准，对准完成后，对衬底升温加热，温度升到60‑80℃时，保持60‑120秒，抬起二维材料转移台的升降臂，此时聚乙烯醇薄膜与聚二甲基硅氧烷薄膜之间发生脱落，聚乙烯醇薄膜和胶带与铜网黏附在衬底上，再逐渐地将聚乙烯醇薄膜从胶带上撕去，只留下胶带和铜网在衬底上，再切取2条聚酰亚胺胶带，进一步固定衬底上的铜网；步骤3：蒸镀电极将固定有铜网的衬底放到电子束蒸发设备中，设定所需电极要求进行蒸镀，蒸镀完成后，将胶带和铜网从衬底中剥离，在二维材料上制得金属电极。