[发明专利]光波模式转换装置及其制造方法在审
| 申请号： | 201810810996.0 | 申请日： | 2018-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN110749955A | 公开（公告）日： | 2020-02-04 |
| 发明（设计）人： | 王庆;方青;汪巍;涂芝娟;曾友宏;蔡艳;王书晓;余明斌 | 申请（专利权）人： | 上海新微技术研发中心有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/14 | 分类号： | G02B6/14;G02B6/13 |
| 代理公司： | 31294 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 孙佳胤;陈丽丽 |
| 地址： | 201800 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种光波模式转换装置及其制造方法。所述光波模式转换装置，包括同层设置的第一波导和第二波导，且所述第一波导的折射率大于所述第二波导；所述第二波导朝向所述第一波导的端部具有开口，所述开口的直径沿所述第二波导指向所述第一波导的方向逐渐增大，且所述第一波导的光耦合端面与所述开口对齐设置。本发明不仅降低了光学器件的工艺复杂度，而且提高了两种波导之间的耦合效率，实现了两种波导之间的低损耗互连。 | ||
| 搜索关键词： | 波导 开口 光波模式 转换装置 半导体技术领域 工艺复杂度 光耦合端面 对齐设置 光学器件 同层设置 逐渐增大 耦合效率 低损耗 折射率 互连 指向 制造 | ||
【主权项】：
1.一种光波模式转换装置，其特征在于，包括同层设置的第一波导和第二波导，且所述第一波导的折射率大于所述第二波导；所述第二波导朝向所述第一波导的端部具有开口，所述开口的宽度沿所述第二波导指向所述第一波导的方向逐渐增大，且所述第一波导的光耦合端面与所述开口对齐设置。/n
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