[发明专利]一种基于肖特基二极管的毫米波线性化方法有效
申请号: | 201810811349.1 | 申请日: | 2018-07-23 |
公开(公告)号: | CN109216332B | 公开(公告)日: | 2020-06-09 |
发明(设计)人: | 杨凌;马晓华;芦浩;宓珉翰;周小伟;侯斌;祝杰杰;郝跃 | 申请(专利权)人: | 西安电子科技大学 |
主分类号: | H01L25/07 | 分类号: | H01L25/07;H01L25/16;H01L29/872 |
代理公司: | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人: | 闫家伟 |
地址: | 710071*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明涉及一种基于肖特基二极管的毫米波线性化方法,包括:制备GaN基微波功率器件,测试得到GaN基微波功率器件的输入阻抗;制备肖特基二极管,测试得到肖特基二极管的输出阻抗;将肖特基二极管的输出阻抗与GaN基微波功率器件的输入阻抗共轭匹配;将GaN基微波功率器件与肖特基二极管通过键合互连。本发明实施例,减小了器件空间面积,可以提升线性度补偿并增强可调性,在高频和宽带环境下都可以发挥最佳效应,进一步提高器件集成度和工作速度。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 肖特基 二极管 毫米波 线性化 方法 | ||
【主权项】:
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